第二百六十四章 水的奥秘（2 / 2）

使用水作为沉浸液还面临着很多的问题，比如说光刻胶的溶解、水中的杂质和稳定性，蒸发扰动以及水中气体的去除……

但这些问题和提高精密制造水平，根本不可同日而语。精密制造那是拼基础积累的领域，但拼化学和系统设计，中国人可是太有信心了。

传承自苏联的中国科学家，在系统设计方面可是深谙如何用巧妙方法克服困难要求的。至于某些方面技不如人的自卑，那就完全没有必要了。这种处境既可以叫穷国的无奈，也可以叫发展中国家的后发优势，全看人们从什么角度解读了。

以中国未来取得的成就来看，大可自豪的说是属于后一种角度。

“唔，我看这个路线说不定可以。”涂岸北缓缓的点了点头，笑道：“周校长这个办法确实是奇思妙想，我看有尝试一下的必要。”

“我也觉得能成。”他身边之前质问周硕的中年男人，也不自觉的点头道：“如果光刻胶的防溶解配方一时拿不出来，我看可以增加一组镜头把水和晶圆隔离开。”

“水中的气体可以通过真空法去除，这样我们就只需要考虑蒸发造成的扰动了……”

这十四个研究狂人，在周硕指出了路线之后，很快就一个个都找到了自己专业的切入点。丝毫不在意之前自己还对这个计划表示反对，和实打实的科技成果比起来，面子值几个钱？国家投入十几个亿，花费了三年时间才把工艺从1.2微米推进到0.8微米。如果被自己从0.8微米再推进到0.5微米，恐怕当前实验室里又要多几个能领国.务.院津贴的了吧！

周硕笑着点头道：“大家不要着急，我已经为你们每个人的研究内容，专门写了个计划书。接下来一个月，我们只要能够按部就班的完成计划书里的研究任务，肯定就能准时的拿出0.5微米工艺生产线。”

涂岸北看着周硕从一旁推出来的文件车，窘迫的笑着摇了摇头说道：“之前真不应该怀疑周校长，你可从来都是谋定而后动啊！有这种东西也不早拿出来，不然哪来这么多麻烦？”

周硕拱了拱手，笑嘻嘻的说道：“怪我、怪我，涂老你千万大人有大量！”

这也是周硕一直以来在研究管理上的心得，直接上来就拿出试验计划，下面人难免会觉得反正是老板的项目，做起来多少会有些懈怠没有动力。但如果事先通过启发的方式，让下面人了解了自己的思路和意图，那么他们就会把这个实验当做是自己验证知识的过程。可别小看这似乎多此一举的行为，周硕又不是全知全能的神。给出的试验计划里难免有疏漏和谬误的地方，研究员的积极性和主观能动性这时可就是实验成败的关键了。

众人从周硕推出来的文件车上，取了自己负责方向的计划书。在超净室里面，即使是纸质文件也不能裸露出来的，每一份文件的每一页，都是用透明塑料进行了严格的密封。这让他们拿到手里之后，计划书显得颇有分量。

涂岸北翻了几页实验计划书，感叹的向周硕问道：“既然有这样的技术，我们何必去买日本人的设备？改造一批国产的0.8微米工艺生产线，我们立刻就能追上国际主流水平了。”

周硕微微摇了摇头，遗憾的说道：“这就是我把它命名为杜鹃计划的原因，沉浸式光刻机在目前的技术上并不成熟。又不是呆着没事我才把实验室设在地下的，建造成本就多出来不知道多少倍造价。但地下实验室也有很多好处，比如说温度恒定、精密设备受到的干扰少等等。要知道沉浸式光刻机的关键在水，而水一旦受到一丝晃动，放大到芯片上都是不能接受的。”

“我们的0.5微米工艺，除了光源以外仍然是0.8微米的底子，这势必就会造成生产困难和良品率极低。只有让日本人相信我们已经掌握了0.5微米工艺，为了扼杀我们的研究成果，打开向国内供应0.5微米生产线的口子。接下来得到他们的0.5微米线，才能补全这条线的工艺基础。”

他斩钉截铁的说道：“只要能够真正和美、日站在同一个起跑线上，我不信中国人就一定会在这场比赛中仍然落败。”(未完待续……)