真假1微米4（1 / 2）

“这些cmp技术也要交给我们俩弄吗？”

今天得到信息量太大了。两个年轻人很有种目不暇接的感觉。

多重图案技术，一听就明白，也就敢照亮照亮。但是cmp技术，涉及的就是就是真刀真枪了。

机械研磨，研磨液怎么办，研磨速度，机加工精度，这里面就没有一个是简单的。

他们两个与成永兴多少面临同样的问题，那就是毕竟学习时间太短，基础知识不牢靠。

“这几个技术，我会交给其他人进行研发。”

这个cmp技术，也很重要，但它就没有保密的必要了。因为它本身就是一个公开的技术。现在就是比，谁先采用了。早采用，早受益。它完全可以光明正大的搞起来。

这也是为什么这个技术，被叫做真1微米的原因。

cmp技术摆在前台做幌子，多重图案技术藏在后面。

“是要交給赵主任他们吗？”

“我会另外安排。你们就不用管了。”

这确实是个令人头疼的问题。

工大在集成电路工艺上面，这两年也做出了些成果，但毕竟底蕴不足。

另外，术业有专攻。只靠一个专业的十几个人，去包打天下，根本就不现实。

赵主任领着一群弟子，已经在集成电路设计方面，狂奔了起来。那么就让他们继续走下去吧。

这些技术，很多都是系统性的。它甚至不是靠一两台设备，一两个设备厂家能搞定的。

引入第三方力量，就是必须。

不过这个事情不急。幌子的作用，主要还是幌子。

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“我们现在干什么？”

“第一步还是先来验证概念，另外要试验一下，看lele和samp这两条路，哪一条更容易实现，难度最低。”

多重图案技术法，有两条实现路线。一条是lele，另一条是samp.

lele是将设计版图分解成两套独立的低密度图形，通过两次单独曝光和两次单独刻蚀，然后叠加在一起，形成更精细的图案。

samp是通过一次光刻形成核心图形，然后通过沉积（deposition）在核心图案两侧形成侧墙（sidewall），最后通过刻蚀（etch）和修剪曝光来实现所要的图形。

“这两条路，是你提出来的，你自己不知道？”

严亮觉得这个事情有点奇怪。

“我又没有自己动手做过，我哪里知道？”

“这真是你自己的想法？”

“你问这么多干什么？好奇心太大，会害死猫，你不知道吗？”

“我们又不是猫！不说算了，谁稀罕！”

一个人又不是生活在真空里，只要时间长了，总是要漏出些马脚的。以前，成永兴每次还会去找借口解释，慢慢的，他连借口都懒得找了。

这也是他只相信身边这几个人的缘故。至少这些同学，同乡，他信得过。

可惜了，当初的黄埔军团，只剩下这两个人。由于缺乏可信助手的缘故，他的很多想法，都无法执行了。

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“这样搞的话，908工程根本就没有必要了啊！如果是这样，能不能跟国家说说，把908工程的经费要过来一部分？”

“国家的拨款，你们就不用考虑了。908计划，国家到最后也没有给拨款，他们跟我们实际没有什么区别，都是银行贷款。”

“到最后？这你是怎么知道的？算了，我不问了。”